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真空桌面分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統，具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設備的具體組成主要包括真空測量系統、真空室、閥門(mén)及真空管路、電器控制系統等

KT-F110S 高真空排氣臺無(wú)油渦旋分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統，具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設備的具體組成主要包括真空測量系統、真空室、閥門(mén)及真空管路、電器控制系統等

PECVD射頻模塊通過(guò)反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單，與傳統CVD系統比較，生長(cháng)溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。