真空手動(dòng)多功能微型探針臺腔體設計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調節移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線(xiàn)連接測試儀器來(lái)測試電學(xué)信號

      真空手動(dòng)多功能微型探針臺真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調節移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線(xiàn)連接測試儀器來(lái)測試電學(xué)信號。

* 溫度可控，可控精度<0.1℃

* 真空度10-3至10-5Torr
* 防震動(dòng)設計
* 測量范圍DC至67 GHz
* 多可容納100毫米晶圓
* 可配置多達四個(gè)微操縱探針臂（波紋管）
* 探針座微操作器行程±12mm
* 電纜線(xiàn)屏蔽、電氣噪聲、熱輻射損失降到低

* 可預留不同尺寸接口以備充入其它氣體使用

* 可預留接口以備安裝電子閥及流量計之用

* 顯微鏡觀(guān)察系統可選

   目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗電爐   CVD供氣系統   等離子清洗機   小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀  石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷(xiāo)于各大院校，及材料研究所。

   公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴謹的技術(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著(zhù)一顆真誠的心期待與您的合作。